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晶圓切割道微裂之非破壞自動化光學檢查設備

[08]特性可得知，較佳適用於穿透晶圓切割膜檢測晶圓微裂的光源波長在1100 nm附近。 ... Ii. (1). 其中. λ. 為光線的波長，. L. 為亞佛加厥數(Avogadro's)常數、.

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