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疊對量測不確定度評估 - AOIEA

的切割道(Scribe line)上。雖然目前的製程線寬比可見光的波長更小，微影疊對量測圖樣. 卻必須遠大於最小的製程線寬才可被可見光鑑別量測。目前先進的商用量測機台所 ...

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