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ArF是什么光刻机，为什么格科微能成功引进？

ArF其实是一种光源，光刻机的常见光源和波长有： ... 机不仅有极紫外光刻机（EUV），还有ArF浸没式光刻机、ArF干式光刻机、KrF光刻机、i-line设备等。

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