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i line波長
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关于黄光及其100个疑问,这篇文章已全面解答
答:曝光过程中用到的光,其波长为248nm,其波长较短,因此曝光完成后的图形分辨率较好,用于较为重要的制程中。 18、I-line与DUV主要不同处为何? 答: ...
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