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Synthetic Fused Silica Glass AQ series 合成石英– 半導體製程 ...

不論是i-line，200nm波長以內的KrF、ArF 、Xe準分子雷射等深紫外線，到近紅外線都具有高穿透率. 低Compaction/Rarefaction特性，低雙折射特性. 1000℃左右的高耐熱性.

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