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半導體產業不可或缺的曝光機，是「這些企業」的心血結晶！

... 圖所示，曝光機的光源在過去多年的發展從包括g-line和i-line在內的高壓汞 ... 對於未來，有人甚至認為曝光機的光源有望從13.5nm 波長的EUV 進入到 ...

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