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IC光阻市場及技術發展趨勢

一般的光解像度約為其波長，. 例如i-line(365nm=0.365µm)大概只適合至. 0.35µm製程應用，如果考慮光解像度更. 低時，則可選擇248nm DUV、 193nm甚. 或157nm的光源，可以 ...

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