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Line 和DUV 分别用什么样式的光阻？各个光阻特性如何？

为了获得亚波长光刻结果，抗蚀剂再制造技术，如相移掩模、扫描光学和检测技术被推到了它的绝对极限。最重要的是，抗蚀剂的基本结构必须改变——从I线的 ...

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