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意即防止微塵或揮發氣體污染光罩表面

... 所使用的光源波長，硝化纖維素(nitrocellulose)是最初被採用的薄膜材質而且這類薄膜是使用於g-line (436 nm) 或i-line(365 nm)的晶圓曝光機或寬頻投射晶圓步進機。

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