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奈米世代微影技術之原理及應用

光學微影的曝光光源有汞燈、KrF、ArF（曝光波長為193nm）、F2（曝光波長 ... 但是在早期的微影研究中並不太重視此一觀念，此乃是因為當時曝光的波長（g-line及i-line） ...

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