你即將離開本站

並前往https://www.iner.gov.tw/eip/Manage/Uploads/energyanalysis/%E6%A5%B5%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%85%89%E5%BE%AE%E5%BD%B1%20%E5%BB%B6%E7%BA%8C%E6%91%A9%E7%88%BE%E5%AE%9A%E5%BE%8B%E7%9A%84%E9%87%8D%E8%A6%81%E6%8A%80%E8%A1%932.pdf

極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術

爾後隨製程. 線寬不斷微縮，光源波長也從i-line(365 nm 波長)到利用惰性氣體和鹵素分子結. 合激發的深紫外光(DUV)準分子雷射光源，如氟化氪(KrF)產生的248 nm 波長和.

確定！ 回上一頁

查詢 「i line波長」的人也找了：

  1. i-line曝光機
    2.
  2. ghi line波長
    3.
  3. i-line光阻
    4.
  4. Ghi line
    5.
  5. g line波長
    6.
  6. krf波長
    7.
  7. i-line stepper
    8.
  8. j line波長
    9.