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ASML一個早餐的故事☕️｜從高壓汞燈到EUV極紫外光☄️

line)、365nm (i-line)波長的紫外光。使用i- line光源的ASML微影設備，最小線寬可達220nm。 #DUV深紫外光 為了追求更小的線寬，ASML微影設備改採用深紫外光 (DUV, deep UV) ...

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