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固化扩散灯罩(LAMP HOUSING) - 无锡凯必特斯半导体科技有限 ...

RTP LAMP HOUSING是利用蜂窝式卤钨灯，用最短的时间高温热处理晶元的设备，应用于氧化工艺。RTP设备的优点在于快速加热及快速冷却，节俭热损消耗。

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