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熱點缺陷的檢測和管理 - DigiTimes

熱點 是晶片內未能在晶圓上進行恰當圖案顯影的圖案類型。熱點缺陷可能會在晶圓上的每個晶片中重複產生(「重複缺陷」)，或者問題可能更加斷斷續續產生。

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