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半導體產業為High K和Low K材料問題所苦 | 健康跟著走
電場(E) 和時間和介電質崩潰的關係(TDDB)為可靠度觀測的重點。而崩潰則和薄膜... 元件製程的流程,以及本實驗所用的材料分析儀器介紹。第三章介紹實驗試片所 ...
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