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以氮化鋁作為MIS電容介電層之電性分析探討

... 製作具有high-k介電保護層之MIS(metal -insulator-semiconductor)結構，觀測其在高頻(1MHz)與低頻段(100Hz、500Hz、1KHz)下的電特性。並探這些特性與製程條件、 ...

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