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高介電絕緣層對先進金氧半場效應電晶體元件影響之研究

改為使用High－κ 材料，即高介電絕緣層，更能降低閘極漏電流、改善次臨界擺幅 ... 隨著製程的進步，電晶體微縮後的尺寸越來越小、絕緣層厚度也不斷縮小，使得本身的.

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