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國立臺灣師範大學機電科技學系碩士論文指導教授：劉傳璽博士 ...

驗結果顯示摻雜鋯後，會使高介電係數介電層在高溫製程後會有結晶的現象 ... Y2O3 is a promising high-K material because of its high dielectric constant.

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