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第五章晶圓製程設備產業智慧資源規劃實證研究第一節主要設備 ...

參考李佳玲半導體奈米製程迎. 戰新High k/ Low K 材料技術，電子時報。 100 ALD 可在高深寬比溝槽上，比傳統PVD 和CVD 製作階梯覆蓋率極佳的薄膜，在溝槽結構上製.

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