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鳥海 明 Ge High-k CMOS に向けた固相界面の理解と制御技術 ...

High -k 材料のドーピングによる GeO2 膜物性の変化. 我々はこれまでに High-k/Ge スタックの電気特性は、適. 用する High-k 材料の種類によって大きく異なることを見出.

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