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high k材料種類
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http://www.shmj.or.jp/museum2010/exhibi424.html
高速トランジスタにHigh-k/メタルゲートの採用
初期の酸化窒化膜の導入を経て、より誘電率の高いHigh-k材料が導入されるようになっ ... High-kメタルゲートは大きく、ゲートファーストとゲートラストの2種類に分類 ...
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