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電機與電子工程系碩士班碩士論文爐管氮化矽均勻度改善之研究 ...

半導體產業結構可區分為材料加工製造、晶圓之積體電路製造(Wafer ... 乾的淨化氣體），可以生成High-K 膜（AIO，HfO，ZrO）。 TEL 爐管設備：a.

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