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半 導 体 材 料

2)その間、SiMOSFETに関連する材料の課題は. ゲート絶縁膜材料（High-k材料）、メタルゲート材料、. 層間絶縁膜（Low-k材料）、チャネル材料、配線材料、. など材料 ...

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