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第三章晶圓製程設備產業研究第一節半導體產業特性

常數材料取代金屬導線的二氧化矽，目前90/65 奈米採用的絕緣材料k 值均在2.4 以上。 ... 晶圓製程設備、市場、產品種類、功能到競爭分析，以全面了解晶圓製程設備產.

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