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high k材料種類
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(12)发明专利申请
如权利要求10 所述的电阻,其中该U型高介电常数材料层的最高部分低于该金属. 部分的表面。 ... 值得注意的是,本优选实施例为后栅极工艺以及后栅极介电层(high-k last).
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