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high k材料種類
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high-k材料 | 日経クロステック(xTECH)
従来のゲート絶縁膜であるSiO2では,その膜厚が薄くなるにつれて,物理的に絶縁膜としての機能を果たせなくなる。トランジスタをオンしていない状態 ...
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