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半導體料材技術動向及挑戰:SOI,RC-Delay,High-k,製程材料類

銅導線材在半導體技術發展初期的50年代，主要是以鍺元素為材料，不過鍺元素的耐高溫性不足、抗輻射能力差，以致在60年代後逐漸由矽元素取代其地位， ...

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