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新型半導體全氟化物廢氣電漿處理技術

半導體 業界雖努力開發出其他足以完. 全取代PFCs 的化學品，如C3F8、C4F8 及C4F8O 等. 利用率高之全氟化物氣體，但面對PFCs 的回收、. 再利用及減量等製程控制與設備仍處於 ...

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