中文 摘要………………………………………………..…………. i ... 圖1-4 STI-HDP 沉積後到CMP 研磨後的缺陷圖示….………………….……5 ... 溝槽隔離-HDP 氧化層充填跟爐管氧化矽內墊層間的介面並沒.
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