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寬頻電漿光學測量結合機器學習磊晶圓圖案缺陷檢測更有效率

KLA Surfscan無圖案晶圓檢測系統的Haze量測一直以來都是產線上主要用於磊晶沉積層晶體品質的非破壞性的檢測方法，但是，這種量測目前僅用於無圖案的晶 ...

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