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最常使用之晶圓表面清潔步驟為濕式化學法(wet chemistry)

污染物. 名稱. 化學溶液的混合. 種類. (所有潔淨完後用. DI 水沖洗). 化學式. Piranha(SPM) 硫酸/過氧化氫/DI. 水. H2SO4/H2O2/H2O. 微粒. SC-1(APM). 氫氧化氨/過氧.

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