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技術學刊第十二卷第三期民國八十六年

VLSI的微細化使傳導信號之金屬線單位面積所流過的電流密度倍增,造成. VLSI的信賴性問題,同時隨著VLSI微細化 ... 基板加熱的溫度有相對關係,自然鋁薄膜的粒子(grain)*.

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