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Low-k膜のダメージ評価方法

GOF. （Goodness-of-Fit）. 膜厚、屈折率. 膜厚、密度、ラフネス. 出力パラメータ. このように、Low-k 膜の膜厚とk値を抽出することによって、プラズマ CVDCap 膜堆積 ...

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