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提高产品钝化层膜厚量测数值可信度的方法 - Google Patents

通过量测光谱拟合，优化测量程式中的薄膜堆积模型，即:在薄膜堆积模型中用TiAl3合金层取代Ti层，解决了钝化层量测GOF偏低的问题，并通过实际量测结果论证了理论推断。 [ ...

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