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微影製程 - 國立高雄科技大學第一校區

>Deep UV: 150-300 nm. >Near UV: 350-500 nm. ▫ 汞燈(Hg)光源. >G-line 波長436 nm（常用於學校）. >I-line 波長365 nm（常用於0.35微米的IC製程中） ...

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