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一文讀懂Fan-out面臨的未來挑戰 - iFuun

對於1-1μm 及以下的fan-out，供應商必須切換波長並遷移到i-line 或365nm 光刻工具，這 ... 對於主流應用，封裝廠使用結合了多種不同波長（g、h 和i）的傳統stepper。

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