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4. 露光装置の要素技術 - ウシオ電機

分光分布は、波長毎の分光放射照度（W／m 2 ／nm）で表される。露光照明系では、超高圧水銀ランプのg 線（436nm）、h線（405nm）、i線（365nm）や、より ...

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