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하프톤 위상반전마스크를 이용한 복합파장 노광 방법 및 이에 ...

반면, 평판 디스플레이용의 경우는 대면적을 빠른 시간에 노광해야 하므로, 광원에서 나오는 i-line(365nm), h-line(405nm), g-line(436nm)의 모든 파장을 동시에 ...

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