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光刻胶g线、i线、KrF、ArF、EUV，到底是在说什么？ - 芯知社区

01半导体光刻胶分类半导体光刻胶根据曝光光源波长不同来分类，分别是紫外全谱(300～450nm)、G 线(436nm)、 I 线(365nm）、深紫外(DUV， ...

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