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一文讀懂Fan-out面臨的未來挑戰_半導體行業觀察- 微文庫

對於1-1µm 及以下的fan-out，供應商必須切換波長並遷移到i-line 或365nm 光刻工具，這可能 ... 他説，“所以你可以使用'ghi'波長並過濾掉其中的'gh'。

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