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光刻机_百度百科

常用的紫外光光源是高压弧光灯（高压汞灯），高压汞灯有许多尖锐的光谱线，经过滤光后使用其中的g 线（436 nm）或i 线（365 nm）。 对于波长更短的深紫外光光源，可以 ...

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