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光刻机经历了5代产品发展。光源波长从... - 雪球

光源波长从436nm缩小到13.5nm。 g-line ：最早光刻机的光源是汞灯产生的紫外光源，1980年前后采用g-line光源，波长为. 436nm，制程节点为800-250nm。

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