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光刻(1)-光刻机大比拼 - 知乎专栏

UV：Ultraviolet，紫外光，光源波长400nm以下，使用汞灯发出紫外光，可以产生波长436nm的紫外光（G-line），405nm的紫外光（H-line）、365nm的紫外 ...

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