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液動壓拋光法之非等向性拋光特性之初步研究 - 國立中山大學

圖3-8(IV) 等向性表面粗度工件實驗，Si 晶圓實驗實驗IV ……93 ... (surface profile)和進行加工後的真實表面輪廓之間的誤差(error)，如. 圖1-1。 ... gg 可以近似為:.

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