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TWI548013B - 結合實體座標之位元失效偵測方法 - Google ...

本發明是有關於一種失效分析法(Failure Analysis Methodology)，且特別是有關於一種結合實體座標 ... GDS檔一般是佈局(layout)的電路設計檔，所以附有晶圓的實體座標。

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