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半导体厂GAS系统基础知识 - 百度文库

半导体厂GAS系统基础知识-•1.定义:*Pipe:,以公称内径(ID)配合壁厚作为量度之尺寸.*Tube:以外径(OD)及壁厚作为量度之尺寸.*规格:6M/stickor4M/stickor100M/roll2.

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