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氮离子种类对外延GaN薄膜质量选择低能离子辅助生长的影响 ...
摘要报道了应用能量和质量选择离子束辅助沉积装置来研究超热原子和分子氮离子种类在外延GaN 薄膜生长的初始阶段的影响。通过使用紧凑型四极杆质量过滤器系统, ...
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