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202010477865.2 - 半导体装置的制造方法- SooPAT专利搜索

202010477865.2,半导体装置的制造方法,本文公开短通道、水平栅极全环(GAA)纳米结构(如：纳米片、纳米线等)晶体管、半导体装置的制造方法及以GAA晶体管形成的装置。

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