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CTIMES- MEMS運動感測元件之技術淺談

其中電容式加速度計具有高靈敏度、低雜訊、低電流消耗等優點，但其易受電磁干擾的影響，因此在封裝上必須考量防電磁干擾的封裝設計；壓阻式速度計具有 ...

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