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FTIR:FTIR 傅氏轉換紅外線光譜分析儀（Fourier Trans

FTIR 傅氏轉換紅外線光譜分析儀（Fourier Transform infrared spectroscopy）用於半導體製造業。FTIR仍利用紅外線光譜經傅立葉變換進而分析雜質濃度的光譜分析儀器。

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